电子行业废气(qi)治理方(fang)案
电子(zi)行(xing)业(ye)的废气(qi)治理(li)一(yi)直一(yi)大(da)难(nan)题，电子(zi)行(xing)业(ye)产生的废气(qi)种类(lei)多，治理(li)难(nan)度(du)大(da)，排放的废气(qi)具有风(feng)量(liang)大(da)(通常(chang)大于11000m3/h)、VOCs浓度(du)低(通常小于25ppm v)的特点。排放VOCs废(fei)气(qi)(qi)中还含有酸性气(qi)(qi)体、碱性气(qi)(qi)体和一(yi)些有毒气(qi)(qi)体。这些问题困(kun)扰着很多企(qi)业。奥维环(huan)保跟大家一(yi)起(qi)分(fen)析一(yi)下(xia)改行业的废(fei)气(qi)(qi)特点及(ji)治理措(cuo)施。
电(dian)子行业中的VOCs种类(lei)常见的就达(da)30多种(zhong)，主(zhu)要来自半导体器件(jian)(jian)、电子元器件(jian)(jian)、电子组件(jian)(jian)、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使(shi)用(yong)溶剂型涂料、清洗工艺(包括芯征清洗(xi)、玻璃(li)基(ji)板清洗(xi)、电(dian)路板清洗(xi)、电(dian)子组件清洗(xi)等)使(shi)用(yong)(yong)有机脱脂剂(ji)(ji)、脱水(shui)剂(ji)(ji)，感(gan)光(guang)成像工艺中的光(guang)刻胶(jiao)稀释(shi)剂(ji)(ji)、显(xian)影剂(ji)(ji)、脱胶(jiao)剂(ji)(ji)、液(ye)态阻(zu)焊膜剂(ji)(ji)、去膜剂(ji)(ji)等使(shi)用(yong)(yong)有机溶剂(ji)(ji)，去光(guang)刻胶(jiao)类化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA则属于(yu)高沸点的硫类和胺类之(zhi)有机溶剂。
电(dian)子行业废气(qi)危害性(xing)：
电子(zi)行业(ye)废气(qi)(qi)(qi)中含有大量的有害物质，如果不对这些废气(qi)(qi)(qi)处(chu)理的话，当(dang)含有害物质漂浮在空(kong)气(qi)(qi)(qi)，不但对周边的环境造成污染还(hai)会危及人类的身体(ti)健(jian)康，特(te)别是在电子(zi)厂(chang)上班(ban)的员工，如果长期呼吸这类气(qi)(qi)(qi)体(ti)，会对员工肺部有很大影(ying)响，造成各种疾病。
电子行业废气(qi)治理方法(fa)：
针对(dui)电子行业(ye)VOCs排放特(te)点采用(yong)相应的治(zhi)理技术，主要方法还是吸附法、焚烧法。对于半(ban)导体、TFT—LCD和LED、PCB等(deng)企(qi)业，有(you)机废气(qi)一(yi)(yi)般(ban)还含有(you)酸性气(qi)体、碱性气(qi)体和一(yi)(yi)些(xie)有(you)毒(du)气(qi)体，治理技术一(yi)(yi)般(ban)采用多级废气(qi)治理方式(shi)，一(yi)(yi)般(ban)采用“喷淋(lin)塔淋(lin)洗+沸石浓缩转(zhuan)轮(lun)+催化(hua)燃烧”治(zhi)理方(fang)案，对电(dian)子终(zhong)端产品企业一般采用“漆雾过滤(lv)柜+活性炭吸附”治理方案。
沸石浓缩(suo)转轮+催化燃烧是(shi)使废气经(jing)过(guo)预(yu)处理后,进(jin)入转轮进(jin)行吸附(fu)净化,达标排放。当沸石转轮满(man)足脱附条(tiao)件(jian)时(shi),系统进行介质再生。与(yu)CTO相配合,完成脱附(fu)和燃烧氧(yang)化(hua),分(fen)解VOCs分子，成生二氧化(hua)碳(tan)和水。该(gai)方案(an)废气净化(hua)率可达90%以上，且无(wu)二次污染(ran)。但是投资(zi)较高，有很多的(de)(de)企(qi)业无(wu)法接受动辄上百万的(de)(de)废(fei)气处(chu)理投资(zi)。
活(huo)性炭(tan)吸附(fu)装置通过利用高(gao)性能活(huo)性炭(tan)吸附(fu)剂(ji)固体(ti)本身的表面作用力(li),将(jiang)有机废(fei)气分子(zi)之吸附质吸引附着再(zai)吸附剂表(biao)面,能对苯、醇、酮、酯(zhi)、汽油类等有机(ji)溶剂的废气吸附, 经(jing)(jing)过活性碳吸附后，符合(he)排放标(biao)准的(de)净(jing)化气(qi)(qi)(qi)体经(jing)(jing)风(feng)(feng)机(ji)排放。适(shi)用于低浓(nong)度大风(feng)(feng)量或(huo)高浓(nong)度间歇排放废(fei)(fei)气(qi)(qi)(qi)的(de)作业环境。广泛应用于电(dian)子(zi)元件行业生产领域的(de)废(fei)(fei)气(qi)(qi)(qi)恶臭气(qi)(qi)(qi)体净(jing)化。
